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熱門關(guān)鍵詞: In-situ洗凈 碳素纖維改質(zhì) 薄膜上常溫成膜 洗凈/去除(灰化) 半導(dǎo)體襯底成膜
高密封性應(yīng)用案例

效果
通過(guò)OER工藝常溫生成OH活性基,沒(méi)有熱或物理?yè)p傷
不需要真空排氣,大幅度縮短成膜時(shí)間
利用專用噴頭均勻噴射氣體,上游和下游之間沒(méi)有分布差異
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